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　三菱ケミカルは1日、グループ会社であるドイツのCleanpart ドレスデン社の半導体精密洗浄の事業拡大のため、洗浄能力の増強を行うことを決定したと発表した。投資金額は約1000万ユーロで、2022年末の稼働を予定している。

　Cleanpart ドレスデン社は、主にドイツ東部を中心に半導体の精密洗浄サービスを提供し、同エリアにおいて高いシェアを誇る。世界的に半導体需要が旺盛となっており、顧客の生産をサポートするため、洗浄能力を拡大する。今回の増強では、Cleanpart ドレスデン社の敷地内にクリーンルーム棟を新設し、最新技術を用いた洗浄設備や洗浄工程での廃棄物を減らす環境配慮型設備などを導入する予定だ。

　三菱ケミカルグループの半導体精密洗浄事業は、アジア・欧米にそれぞれ拠点をもち、ワールドワイドに展開している。業界のグローバルリーダーとして、グループ会社と連携し品質の良い精密洗浄サービスの提供を通じて、顧客の継続的かつ効率的な半導体生産をサポートしている。今後も「MCSS」の統一ブランドのもと、グローバルに半導体関連のソリューションをワンストップで提供していく方針だ。

　Cleanpart ドレスデン社の佐藤龍平マネージングディレクターは、「ドイツ東部では、半導体の生産量が大幅に増加している。三菱ケミカルのビジョンである〝KAITEKI実現〟に基づき、この地域における顧客の長年のパートナーとして、新たな〝グリーン〟プロセスの設備を導入する。これによって洗浄能力を拡大し、生産をサポートしていく」と述べている。